
Более сложным по характеру по изготовлению, но с более широкими возможностями применения (по задачам и материалам) является так называемый метод реплик (метод отпечатков). Используемый вначале с целью изучения поверхностных характеристик металлов, этот метод включил затем изготовление отпечатков с материала и последующее изучение тонких пленок, достаточно тонких дли того, чтобы через них смог проникнуть пучок электронов в микроскопе. Пленка может состоять просто из лака, такого как коллодий или формвар, который наносится на образец, застывает и затем снимается с него. Она может быть представлена веществом низкой плотности (таким, как бериллий, углерод или кремний), которое напыляется в вакууме на образец, и пленка затем отделяется от него определенным способом. В любом случае все особенности поверхности первичного образца исключительно точно повторяются в реплике.
Чтобы сделать более видимыми всяческие неправильности и границы, используется обычно метод металлического напыления. Тяжелые металлы, такие как золото, хром или платина, напыляются в вакууме под малым углом в плоскости образца, так что возвышения на реплике получают металлическое покрытие только со стороны источника поступающего металла («наветренная» сторона), в отличне от «подветренной» стороны, где металл не напыляется. Если затем сфотографировать реплику в электронном микроскопе, то увидим подчеркнутое положение этого возвышения или частицц, так как электронный пучок будет с большим трудом проходить сквозь край возвышения, покрытый металлом, по сравнению с краем без металла. Для многих исследований методом реплик пригоден также сканирующий электронный микроскоп, требующий к тому же меньше труда на приготовление препаратов.